創新,是推動半導體行業增長的不竭動力。在這一過程中,以專利為核心的知識產權,為行業創新提供了堅實支撐。高頻科技作為聚焦于芯片制造等電子核心產業的超純水系統供應商,依托堅實的知識產權體系,致力于超純工藝技術的持續創新,為客戶業務的持續發展與壯大提供強力支持。

知識產權賦能,超純工藝邁向新高度

在半導體制造領域,超純水的質量直接決定了晶圓的品質與性能。為此,半導體行業對超純水的要求極為嚴苛,需達到99.9999999999%的水分子純度,金屬離子、總有機碳(TOC)、溶解氧等雜質的含量也必須維持在極低的水平,以確保晶圓的制造過程不受水質影響。這一嚴苛要求,無形中提升了超純水工藝的技術門檻。

在這一背景下,高頻科技依托高素質人才團隊的力量,持續增強研發投入與創新精度,成功解決了多項行業技術難題,并積累了70余項知識產權成果,涵蓋發明專利、實用新型專利、軟件著作權等。該公司研發的超純水系統集成了多項跨學科技術,實現了ppt級別的超純水制備,打破了國際廠商在高端市場的壟斷。作為國內極少數能夠在芯片領域提供超純水系統的企業,且是國內首個具備12英寸14nm芯片產線超純水制備能力的供應商,高頻科技持續推動行業技術發展,滿足市場對高標準超純水的需求。

創新賦能,降本增效促發展

在半導體領域,降低成本與實現可持續性已成為企業關注的焦點。尤其是水資源的再循環和回收利用,成為節約資源和推進可持續發展的關鍵途徑。眾多半導體企業正積極與掌握該技術的供應商攜手,共同推進這一實踐。其中,高頻科技在該領域表現突出,引領著行業創新步伐。

高頻科技電子級廢水處理技術能針對不同雜質特性實施高效且經濟的處理方案。通過整合多級化學混凝、氨氮吹脫和生物處理等工藝,有效處理復雜芯片廢水,實現污染物深度清除。公司能處理超15種芯片廢水,覆蓋先進制程產線所有廢水類型,確保處理效率高且成本低。

高頻科技還具備前瞻性的設計能力,基于對制程工藝的深刻理解,通過合理規劃整個工廠的用水平衡,能夠對制程機臺產生的30多道廢水進行合理的分流、回用,結合適當的處理設備,實現項目水平衡的高效管理,提高整廠用水制備回收率至90%,為企業節約成本,增強效益與可持續發展能力。

半導體知識產權的合理利用與創新技術的不斷探索,共同引領著行業的蓬勃發展。高頻科技作為深植創新精神品牌基因的超純水系統供應商,將持續專注于超純水技術的研發與創新,致力于向客戶提供領先的超純水制備與循環使用方案,在確保滿足高標準工藝用水需求的同時,實現水資源可持續發展。