本土晶圓代工企業(yè)崛起之際，設(shè)備進(jìn)口議題備受關(guān)注。光刻機(jī)龍頭ASML近日表示，從荷蘭向中國(guó)出口DUV光刻機(jī)無(wú)需許可證。

“根據(jù)當(dāng)前法規(guī)，ASML無(wú)需獲得美國(guó)出口許可證便可以繼續(xù)從荷蘭向中國(guó)客戶出貨DUV光刻系統(tǒng)；對(duì)于直接從美國(guó)發(fā)貨系統(tǒng)或零件到受法規(guī)影響的客戶，ASML需獲得許可證。”光刻機(jī)龍頭ASML總裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度財(cái)報(bào)說(shuō)明會(huì)上對(duì)中芯國(guó)際等中國(guó)客戶的出貨情況做了解釋。

ASML近日還公布了DUV光刻業(yè)務(wù)的最新進(jìn)展：公司在本季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT:2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證，并于第四季度初發(fā)貨。NXT:2050i基于NXT平臺(tái)的新版本，涉及掩模版工作臺(tái)，晶圓工作臺(tái)，投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn)，提供了比其前身更好的套刻精度控制，以及更高的生產(chǎn)率。而且，NXT:2050i 將立即進(jìn)入批量生產(chǎn)。

關(guān)于最為先進(jìn)的EUV光刻機(jī)出口中國(guó)的政策，ASML并未提及。

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