優(yōu)界科技是一家研發(fā)、制造高端裝備的國家高新技術(shù)企業(yè),是先進(jìn)技術(shù)驅(qū)動(dòng)的領(lǐng)先智能設(shè)備研發(fā)型公司。公司在成立之初就確立了“以技術(shù)推動(dòng)工業(yè)自動(dòng)化發(fā)展進(jìn)程,引領(lǐng)國產(chǎn)裝備走向世界”的發(fā)展理念,深耕于自動(dòng)化智能裝備制造領(lǐng)域,幾年來優(yōu)界科技業(yè)已形成自有的核心技術(shù)。

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1、超高速運(yùn)動(dòng)控制軟件算法。

超高速運(yùn)動(dòng)控制軟件基于魯棒控制的H2和混合控制算法,使系統(tǒng)在某一類特定的不確定性條件下穩(wěn)定性、動(dòng)態(tài)特性、穩(wěn)態(tài)特性保持不變,從而有效提高了多軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制效率以及控制精度,大大提高了工作效率。

應(yīng)用超高速運(yùn)動(dòng)控制軟件可實(shí)現(xiàn)任意三軸直線插補(bǔ)、任意兩軸圓弧插補(bǔ)及任意三軸螺旋插補(bǔ)與連續(xù)插補(bǔ)功能,還可達(dá)到12軸同動(dòng)或4組3軸同動(dòng)插補(bǔ)的功能,在1ms的指令周期內(nèi)可交換12軸電機(jī)。

2、亞微米精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

亞微米精度移動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)技術(shù)是使用直線超聲電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),定位精度可達(dá)微米級(jí)甚至納米級(jí)同時(shí)行程亦能達(dá)到幾百毫米。實(shí)驗(yàn)測(cè)得平均分辨率可達(dá)到50nm;最高工作速度0.5m/s,加速度大于15m/s,定位精度100nm,穩(wěn)定時(shí)間小于10ms。

亞微米精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)廣泛用于顯微外科手術(shù)、高密度光存儲(chǔ)器、光刻掃描控制等領(lǐng)域,應(yīng)用前景十分廣闊。

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3、AI視覺缺陷檢測(cè)技術(shù)

AI視覺缺陷檢測(cè)技術(shù),可以替代人工檢測(cè)金屬表面的輥印、劃痕、折印、污點(diǎn)等缺陷;檢測(cè)芯片表面的臟污、破損、雙胞、劃痕等缺陷;還有精密工件外觀缺陷檢測(cè);復(fù)雜背景下缺陷檢測(cè);采用基于無監(jiān)督學(xué)習(xí)的產(chǎn)品表面弱缺陷檢測(cè)方法對(duì)圖像進(jìn)行二次分析,深度學(xué)習(xí)算法使缺陷的檢測(cè)越來越精準(zhǔn),識(shí)別準(zhǔn)確度高達(dá)95%以上,缺陷識(shí)別精度最高可達(dá)10微米。

AI視覺缺陷檢測(cè)技術(shù)的應(yīng)用將極大地提高半導(dǎo)體類芯片的外觀缺陷檢測(cè)效率。