11月1日,SEMICON China 2022國際半導體高峰論壇在上海國際會議中心開幕。此次論壇由高峰論壇、智能制造論壇等7個系列論壇組成,??怂构I(IKAS)CEO李杰受邀在智能制造論壇發表了《工業知識自動化推動半導體零缺陷生產ZDP》主題分享。

IKAS面向半導體全產業鏈提供工業知識自動化產品,并創新性地利用數字孿生、AR/VR等技術打造出“工業元宇宙”平臺,在重塑半導體制造場景的基礎上實現半導體制造的改進和優化、形成全新的制造和服務體系。李杰指出,這種平臺化的整合,通過實現對fab資產的互聯和上層系統開發部署,打造出虛擬和現實聯通的真正孿生工廠,從根本上擺脫傳統虛擬智能映射現實的瓶頸。

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關于工業知識自動化所帶來的收益,李杰表示,通過IKAS工業元宇宙平臺的虛實結合,從工藝研發、生產優化、設備運維、產品測試和技術培訓等多層面綜合賦能,全方面助力芯片零缺陷生產。

IKAS工業元宇宙平臺包括數字孿生、AR/VR生產培訓、智能設備調度與控制、智能設備監控及維護預警、智能工藝優化等核心產品。

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其中,數字孿生承載著工業知識自動化系統,整合了采集、聚合、洞見、優化四大功能,并根據物理實體和流程建立準實時數字化模型,幫助識別不同層面偏離理想狀態的異常情況。

IKAS AR/VR是另一大創新型增強現實產品,利用高性能計算平臺加速半導體制造領域模擬與建模的實際應用,創建實時基于物理信息的交互式數字孿生原型,以實現可視化與交互式探索。

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隨著各領域對芯片良率的要求逐漸升高,制造廠商開始致力于實現零缺陷生產,而實現零缺陷生產需要完整的制造體系。生產軟件系統作為解決方案之一,對半導體產業體系發展有重大戰略意義。

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關于半導體廠商如何應對芯片ZDP零缺陷生產挑戰,李杰介紹到,做到以下三大方面準備是有必要的,即樹立規范生產理念,通過內外部培訓建立芯片生產理念,從高管到基層員工人人形成零缺陷生產意識,嚴格執行規范;建立高標準運營要求,包括更嚴格的運營規定,如嚴格的無塵車間運維、清潔等政策,周期性內部監管、外部客戶審計;更高資產狀態要求,如對工藝、生產設備有更加嚴格的要求;更嚴格的spec,Fab inline Metrology & Defect、Yield、ET等核心KPI都有更嚴格的卡控標準Spec;更強的監測和量測,資產監控和量測強化,體現在監控和測試批次頻率、同批次數據采集頻率、數據采集量等;執行嚴格Lot管理,芯片lot特殊化管理,具有與其他lot不同的生產管理和調度規則,如生產和測試數據保存15年。

??怂构I憑借其核心的“ROPN底層建模技術+工業AI決策算法體系”,結合對上述三大方面的深厚理解所研發出工業元宇宙平臺產品,正在為半導體全產業鏈賦能,助力芯片零缺陷生產。接下來,埃克斯工業將繼續致力于通過工業知識自動化(智能制造)系統為半導體裝備和產線的強化和升級賦能。

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最后,李杰表示,半導體智能制造技術和系統的開發和落地,需要終端用戶、解決方案提供商、研發機構、學術組織等的公共合作,充分利用多方資源,共同促進相關技術產品的落地、打造適合中國國情的半導體制造生態。