幾十種口糧喂出來的產(chǎn)品

任何電子產(chǎn)品都逃不開電子氣體,它是重要的基礎(chǔ)性原材料,被喻為工業(yè)制造的“血液“或”糧食”。

電子氣體是特種氣體的一個重要分支(簡稱電子特氣),是集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能(6.890,0.04,0.58%)電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在集成電路產(chǎn)業(yè)使用的電子氣體中可分為大宗氣體(常用氣體)和特殊氣體兩類。

大宗氣體一般是以氮氣(N2)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)等純凈氣體為主。大宗氣體在半導(dǎo)體制造中主要有兩種功能,一種是作為反應(yīng)氣體參與到化學(xué)反應(yīng)中,比如氫氣(H2)、氧氣(O2)等等。另外一種是作為保護氣體使用的惰性氣體,經(jīng)常用在高溫烘烤或清洗過程,這些氣體一般是以惰性氣體為主,比如氮氣(N2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)等等。

特殊氣體以化合物氣體為主,主要是集成電路制造中的反應(yīng)氣體。常見氣體包括硅烷(SiH4)、鍺烷(GeH4)、溴化氫(HBr)、磷化氫(PH3)、砷化氫(AsH3)、乙硼烷(B2H6)、一氧化二氮(N2O)、六氟化硫(SF6)、六氟化鎢(WF6)、三氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、三氯化硼(BCl3)、三氟化硼(BF3)、三氟甲烷(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、二氯二氫硅烷(Si2H2Cl)、四氟化硅(SiF4)、正硅酸乙酯[(C2H5O)4Si]、八氟丁烷(C4F8)、高純氨氣(NH3)、高純氯氣(Cl2)等。其中,三氟化氮(NF3)、硅烷(SiH4)和氨氣(NH3)是集成電路制造、光伏制造、顯示面板制造領(lǐng)域的三大主要氣體。

                                              資料來源:《半導(dǎo)體制造技術(shù)》,株洲動力谷產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟研究院有限公司

電子產(chǎn)品都是大胃王

一款產(chǎn)品需要幾十甚至上百種電子氣體,以集成電路為例,涉及電子氣體約100多種,核心工段約40~50種。雖然每種氣體用量并沒有很大,但種類繁多,整體用量就變大了。從全球市場占比來看,硅烷約為22%,三氟化氮為13%,離子注入氣為10%,氟碳類為6%,六氟化鎢為4%,笑氣為4%,鍺烷為3%,高純氨為3%以及大量其它氣體。

根據(jù)金宏氣體招股書披露的各領(lǐng)域電子特殊氣體和電子大宗氣體所需占比分析,在集成電路領(lǐng)域電子特殊氣體和電子大宗氣體用量相當,約各占50%。

                                                         圖源丨金宏氣體招股書

此外,根據(jù)當前集成電路制造所需主要電子氣體市場價格調(diào)查,電子大宗氣體與電子特殊氣體經(jīng)濟價值比值約達3:7,如下表所示:

集成電路制造主要電子氣體名稱

電子大宗氣體

電子特殊氣體

N2

H2

O2

Ar

He

NF3

SiH4

NH3

其他

市場加權(quán)均價(元/瓶)

450

1000

2600

600

2600

5200

4200

2300

5000

綜合當前集成電路制造所需主要電子氣體市場價格及用量,因此可以得出,集成電路制造電子氣體投入成本中,電子特殊氣體占比達到70%,電子大宗氣體只占到其中的30%。

造不同的產(chǎn)品,對電子氣體的要求也不同,其中用于制造集成電路的電子氣體規(guī)格最高。通常,光伏能源、光纖光纜領(lǐng)域?qū)徍苏J證周期為0.5年~1年,顯示面板為1年~2年,集成電路領(lǐng)域則需2年~3年。

以當前電子氣體市場來看,集成電路市場最具活力、最先進、最具競爭力,太陽能制造商則需要能夠同時提高產(chǎn)量、提高電池效率、降低制造成本的電子氣體供應(yīng)方法,平板顯示屏制造商需要大規(guī)模的超純氣體供應(yīng)。

電子產(chǎn)品都愛挑食

電子氣體對純度的要求比其它行業(yè)要高得多。任何微小的氣體純凈度差異,如氧氣、水分、金屬、顆粒等雜質(zhì),都會導(dǎo)致產(chǎn)品性能降低甚至報廢。為保證成品質(zhì)量,電子氣體要同時滿足超純和超凈兩個要求。

純度是電子氣體質(zhì)量最重要的指標。通常,行業(yè)會使用N來衡量純度,N前面數(shù)字越大純度越高。電子氣體純度往往要達到5N以上級別,甚至需要達到6N、7N以上。此外,電子氣體還要將金屬元素雜質(zhì)含量凈化到10-9級~10-12級。

                                                       氣體級別與純度的關(guān)系,制表丨果殼硬科技

 參考資料丨東方財富證券,民生證券

對產(chǎn)品來說,電子氣體一定是越純越好。就拿集成電路來講,制程工藝已從28nm、14nm、7nm、5nm提升至4nm/3nm,這意味著任何肉眼不可見的細小差別都能對生產(chǎn)造成影響,更純的電子氣體才能保證生產(chǎn)的器件在性能、集成度、成品率等方面不會出現(xiàn)差錯。

不過,看似只是在小數(shù)點后增加一位數(shù)字,實際會是一次技術(shù)大升級。越純的東西,越難造,電子氣體純度等級每提高1N,意味著粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度需要降低一個數(shù)量級。

為了追求更極致的純,電子氣體生產(chǎn)全流程都將迎來技術(shù)升級,涉及氣體合成、分離與提純、混配(如為混合氣)、容器處理、充裝、分析檢測等工序,相關(guān)技術(shù)包括氣體合成、深度純化、混合氣配置、ppm/ppb/ppt級雜質(zhì)的分析檢測技術(shù)、配套器件及氣瓶和管路。

不同氣體特性千差萬別,任何環(huán)節(jié)都不能疏漏。簡單來說,氣體供應(yīng)商首先會對上游原料工業(yè)氣進行全面分析,其次根據(jù)雜質(zhì)成分復(fù)雜程度設(shè)計生產(chǎn)工藝和設(shè)備,最后采用在線自動監(jiān)控設(shè)備進行高精度分析。

電子產(chǎn)品渴望換口味

四大跨國巨頭壟斷全球電子特氣91%市場:21世紀以來,全球氣體行業(yè)形成了美國空氣集團、法國液空集團、德國林德集團、日本太陽日酸四家巨頭公司壟斷的行業(yè)格局;2018年,四家氣體巨頭占據(jù)了全球電子特氣市場約91%的市場份額。2025年我國電子特氣國產(chǎn)化率有望提升至25%:由于我國電子特氣行業(yè)起步晚,過去國內(nèi)氣體企業(yè)與國外巨頭存在較大技術(shù) 代差,2020年我國電子特氣國產(chǎn)化率僅14%。我們預(yù)計未來三年國內(nèi)氣體企業(yè)所占份額有望提升至25%。