公司簡介： 先進電子材料與器件校級平臺（以下簡稱“AEMD平臺”）創建于2012年，是為全校科研工作提供服務的大型儀器設備校級共享平臺，具備10nm至微米級微納器件與圖形的加工與測試能。AEMD平臺在學校各級領導的大力支持下，成為相關學科依托發展的重要支撐力，同時也為科研工作提供完善的保障。AEMD平臺分別座落于交大閔行校區微電子大樓一層（西區）以及綜合實驗樓一層（東區），實驗室共有近1510m2的100級、1000級凈化室，其中100級210 m2，1000級約1300m2。除此之外，平臺還擁用近250m2非凈化測試加工區。平臺建設有一條能對硅、玻璃和有機材料進行微納米加工的3～6英寸半導體級實驗線（西區實驗室）以及一條3～4英寸非硅/MEMS微納加工實驗線（東區實驗室），部分設備可實現8英寸基片加工。平臺擁有電子束曝光系統、雙束聚焦離子束系統、雙面對準紫外光刻機（3臺）、熱壓/紫外納米壓印系統、涂膠顯影系統（3套）、微波去膠機（3臺）、氧化擴散爐（5管，2套）、多晶硅/氮化硅LPCVD爐（2管）、快速熱處理設備、濕法清洗刻蝕臺（12臺套）、多靶磁控濺射系統（4臺套）、超高真空磁控濺射系統、電子束蒸發設備（2套）、離子束濺射機、離子束刻蝕機、等離子增強化學氣相沉積設備、金屬反應離子刻蝕設備、介質反應離子刻蝕設備、深硅刻蝕系統（2套）、微電鑄/電鍍系統、OLED器件實驗制備系統、基片拋磨設備、砂輪切片系統、場發射掃描電鏡、原子力顯微鏡、半導體參數測試儀（2套）、霍爾效應儀、四探針測試儀、表面輪廓儀（3臺）、紫外膜厚儀等先進的微納加工與測試設備，具備10nm至微米級微納器件與圖形的加工與測試能力。AEMD平臺的創建提高了我校大型儀器的利用水平，并為跨學科的交叉研究、國內外的合作提供了平臺，也為高層次的人才培養提供了良好的實驗基地；平臺也向社會相關科研機構與企業公開開放，提供相關項目合作與微納加工服務。